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HJT异质结高效电池制造整体解决方案
该异质结高效电池制造整体解决方案由迈为自主研制、实现整线设备国产化,其完整覆盖了异质结电池生产的四道工艺,通过大片化、薄片化、半片化制程,结合创新 i-in-p PECVD 工艺路线,集成整线 MES 智能系统,进一步提升了太阳能电池的转换效率、 良率、产能,同时降低了生产成本。
工序流程
  • 01
    清洗制绒
  • 02
    硅基薄膜沉积(PECVD)
  • 03
    透明导电薄膜沉积(PVD)
  • 04
    丝网印刷
方案优势
  • 清洗制绒设备
    兼备两种预清洗工艺:Precln#1(O₃) → SDE → Precln#2(H₂O₂)
  • PECVD设备
    全自动完成双面镀膜、连续镀膜,RPS自清洗,产能高,无需行车
  • PVD设备
    连续完成正背面TCO镀膜,产能高、 8个工艺单元(PU)提升了TCO镀膜工艺灵活度,无需行车,镀膜利用率高达80%
  • 丝网印刷设备
    平铺式固化,集成光注入
  • 自动化
    硅片接触最少,环境控制,集成在线检测
  • 强大的MES中控系统
    可进行数据采集、产线监测、产线管控、统计分析,实现量产片级跟踪,追溯每片电池的生产过程
工序一:清洗制绒
+
清洗制绒设备 HJ-TEX-182/210
用酸碱药液将硅片表面刻蚀成金字塔纹理结构,再进行清洗、烘干。
设备参数
设备优势
  • 兼容大尺寸硅片、薄片、半片,产能大且充分客制化
  • 工艺可控度高(定排定补)
  • 机台内环境控制严格
    (酸碱隔离、FFU、除静电等)
  • 数据采集完整
    (lot log、ID追踪、记录曲线等)
工艺流程
补充说明
可提供配套返工清洗机、链式前清洗机
工序二:硅基薄膜沉积(PECVD)
+
PECVD镀膜设备 Maxwell MV-LH06
一套在线连续PECVD镀膜设备,在硅片正背面沉积本征和掺杂非晶硅膜/微晶硅膜
设备参数
设备优势
  • Inline多腔体准动态PECVD镀膜技术
  • 分层高品质非晶硅钝化镀膜技术
  • PECVD多层布气Showerhead放电阴极结构设计
  • 大尺寸、轻载荷、低热膨胀系数、高平面度的复合载板设计
  • Inline耐腐蚀磁流体真空传送大尺寸载板
  • RF快速启辉设置及辉光实时监控
工艺流程
工序三:透明导电薄膜沉积(PVD)
+
PVD镀膜设备 Maxwell P6
一套卧式在线磁控溅射连续镀膜设备,可同时进行双面镀膜。
设备参数
设备优势
  • 大产能(G12,14400半片/小时,单台设备年产能约600MW)
  • HJT高效电池PVD镀膜专用大尺寸、轻载荷、低热膨胀系数、高平面度的复合结构设计载板
  • HJT高效电池大产能低碎片率的PVD腔体结构设计
  • 强磁低温高溅射率的PVD阴极结构设计
  • 快速均匀的加热单元设计
  • 低薄膜不均匀性的PVD阴极腔体设计
  • 在线PVD高速快节拍的高品质TCO薄膜镀膜技术
工艺流程
工序四:丝网印刷
+
异质结高效电池丝网印刷设备 MW-XDL-DP(HJT)
对异质结高效太阳能电池片进行丝网印刷测试,固化光衰。
设备参数
设备优势
  • 兼容MES、UPS和RFID功能
  • 高精度、大产量半片机台
  • 整线配置无人自动化
  • 整线迈为自制,包括检测设备
工艺流程